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机译:数字全息显微镜对动态硅悬臂梁传感器的热特性分析
Marjan Zakerin; Antonin Novak; Masaya Toda; Yves Emery; Filipe Natalio; Hans-Jürgen Butt; Rüdiger Berger;
机译:动态硅悬臂阵列传感器的热表征数字全息显微镜。
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